一种垂直结构ZnMgO自驱动日盲紫外光电探测器面阵及其制备方法

本发明公开一种垂直结构ZnMgO自驱动日盲紫外光电探测器面阵及其制备方法，具体是指在透明衬底上生长一层超宽带隙、高载流子浓度的掺杂ZnMgO薄膜作为透明导电窗口层；再生长一层日盲带隙、低载流子浓度的掺杂ZnMgO薄膜作为n型层；进而生长一层NiMgO薄膜作为p型层；刻蚀掉部分p型层和n型层，露出部分透明导电窗口层；在露出的透明导电窗口层上制备n型环形共电极，在p型层上制备p型阵列电极；最终获得垂直结构ZnMgO自驱动日盲紫外光电探测器面阵。本发明利用ZnMgO/NiMgO异质pn结实现日盲紫外信号的自驱动探测；利用超宽带隙透明导电窗口层大大提高器件的光电性能；探测器为垂直结构，通过制备共电极和阵列电极可实现面阵的制备，并应用于日盲紫外信号的成像和追踪。